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| TiOx薄膜阻变特性的氩等离子处理影响探讨 | |
| 作者姓名： | 徐文彬 任高潮 |
| 摘 要： | 本文探讨了氩气等离子处理对TiOx薄膜阻变性能的影响,并根据阻变性能的变化,提出了改变等离子处理条件来优化阻变性能的思路.实验显示,随着等离子处理范围的增大,阻变forming-free特征出现的可能性在增大.而处理功率增长的影响主要体现在阻变层中氧空位含量的增加(XPS测定)和等离子处理电流的增大,但在面积较小试样中... |
| 关 键 词： | 等离子 阻变 TiOx 无电形成 氧空位 |
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