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| 金刚石薄膜的导热性质研究 | |
| 引用本文： | 顾毓沁,余立新,朱德忠.金刚石薄膜的导热性质研究[J].中国科学(E辑),1996,26(2):103-108. |
| 作者姓名： | 顾毓沁 余立新 朱德忠 |
| 作者单位： | 清华大学工程力学系!北京100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 利用光交流加热法测量了3个单层的金刚石膜试样平行于表面方向的热扩散率,再根据金刚石体积比热容的公认值,确定金刚石膜的热导率.测量结果表明,不同工艺条件下制备的金刚石膜,其热导率可以有很大的差别.3个样品中,测得的热导率最低值为0.50W/cm·K,最高值为7.70W/cm·K,这些差别与工艺参数甲烷气含量密切相关.测量了2个样品热导率在室温和160℃之间的变化,热导率与温度的关系由金刚石内部多种散射机制决定.对光交流加热法测量,如金刚石膜那样高热扩散率样品存在的端部效应引起的原理误差作了分析和修正. |
| 关 键 词： | 热扩散率 热导率 薄膜 金刚石薄膜 导热性质 |
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