| RuO2/Pt复合电极对BST梯度薄膜介电性能的影响 |
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| 引用本文： | 项超,王今朝.RuO2/Pt复合电极对BST梯度薄膜介电性能的影响[J].湖北大学学报(自然科学版),2008,30(4). |
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| 作者姓名： | 项超 王今朝 |
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| 作者单位： | 湖北大学材料科学与工程学院,湖北武汉430062 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射方法在Ti／SiO2／Si（100）衬底上制备RuO2／Pt复合电极，研究在复合电极上沉积的BST薄膜的微观结构及其对BST梯度薄膜电学性能的影响．实验结果表明：沉积在RuO2／Pt复合电极上的BST梯度薄膜在测试频率为100kHz时，介电常数为324．8，介电损耗为0．0189在75kV／cm外电场下漏电流密度为1．29×10^-6A／cm^2；在Pt电极和RuO2／Pt复合电极上分别制备的BST薄膜的介电损耗和漏电流基本上相似，没有太大的区别．但在375kV／cm外电场下RuO2／Pt复合电极上沉积的BST的介电调谐率为31．2％，比直接沉积在Pt上的BST的介电调谐率高7．4％，显示出较好的C—V特性．
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| 关 键 词： | 复合电极 BST薄膜 磁控溅射 介电性 漏电流密度 |
The effect of bottom hyrid electrode on the electric properties of the BST thin-films by magnetron sputtering |
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| XIANG Chao,WANG Jin-zhao.The effect of bottom hyrid electrode on the electric properties of the BST thin-films by magnetron sputtering[J].Journal of Hubei University(Natural Science Edition),2008,30(4). |
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| Authors: | XIANG Chao WANG Jin-zhao |
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