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| 亚太半导体市场的繁荣 极大规模集成电路制造装备及成套工艺技术预见 | |
| 引用本文： | 盛景荃.亚太半导体市场的繁荣 极大规模集成电路制造装备及成套工艺技术预见[J].华东科技,2008(3). |
| 作者姓名： | 盛景荃 |
| 摘 要： | 集成电路制造技术集成套工艺是当今全球装备制造业中最尖端的技术之一,是信息技术硬件的核心.在国务院颁布的<国家中长期科学和技术发展规划纲要>中,"极大规模集成电路制造装备与成套工艺"已经被列为重大专项. |
| 关 键 词： | 产业基地 技术预见 集成电路制造 半导体市场 半导体设备 极大规模集成电路 制造装备 工艺技术 成套 |
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