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梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响
引用本文:陈庆东,胡晓亮,李立本.梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响[J].河南科技大学学报(自然科学版),2009,30(6):94-96.
作者姓名:陈庆东  胡晓亮  李立本
作者单位:河南科技大学,理学院,河南,洛阳,471003
基金项目:国家自然科学基金,河南省教育厅自然科学研究项目 
摘    要:考虑膜中应变随位置的变化,应用Pertsev热力学理论,研究了BaTiO3薄膜介电常数随温度的变化。发现衬底与膜间热膨胀系数差和膜的沉积温度显著影响介电常数的值及其峰值温度,介电常数随沉积温度的降低而增大,计算结果与实验数据较好地吻合。

关 键 词:BaTiO3薄膜  梯度应变  热力学理论  介电常数

Effect of Strain Gradient on Dielectric Properties of BaTiO3 Thin Films
CHEN Qing-Dong,HU Xiao-Liang,LI Li-Ben.Effect of Strain Gradient on Dielectric Properties of BaTiO3 Thin Films[J].Journal of Henan University of Science & Technology:Natural Science,2009,30(6):94-96.
Authors:CHEN Qing-Dong  HU Xiao-Liang  LI Li-Ben
Abstract:
Keywords:
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