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| 浙江大学硅材料国家重点实验室 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 硅材料国家重点实验室(原名高纯硅及硅烷国家重点实验室)于1985年由国家计委批准投资建设,1987年通过国家验收,1988年对外开放。目前硅材料国家重点实验室已成为国家在硅材料及半导体材料的科学研究创新及高级人才培养的主要基地之一,是对外学术交流的重要窗口。以该实 |
| 关 键 词： | 浙江大学 硅材料国家重点实验室 晶体加工 半导体材料 复合信息功能材料 |
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