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| FMCS系统在集成电路工厂中的应用 | |
| 引用本文： | 姚虹.FMCS系统在集成电路工厂中的应用[J].中国西部科技,2011,10(9):16-17. |
| 作者姓名： | 姚虹 |
| 作者单位： | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司,四川,成都,610021 |
| 摘 要： | 根据集成电路工厂工艺的要求,综合应用了基于工业现场总线技术的监控管理系统,详细介绍系统网络的构架、硬件配置、控制层次、控制功能要求。该控制系统保证了工厂运行的可靠性和实时性,提高了自动化水平和管理水平。 |
| 关 键 词： | FMCS系统 控制 应用 |
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