浅谈12英寸集成电路芯片制造用水清洁生产指标的确定

对于代表目前集成电路制造最高水平的12英寸生产线,其清洁生产指标的确定往往由于所处行业的高速发展,目前尚处于一个积累经验和探索发展的阶段而成为一个难点。本文拟笔者在对该类项目设计和环评实际工作的基础上,以一个在建的典型的12英寸生产线为案例,通过制作全厂水量平衡图,分析其用水特点与节水措施,就如何确定清洁生产指标进行了探讨。