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| DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究 | |
| 引用本文： | 李新,唐祯安,徐军,鲍海飞.DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究[J].大连理工大学学报,2006,46(3):442-445. |
| 作者姓名： | 李新 唐祯安 徐军 鲍海飞 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学,电子与信息工程学院,辽宁,大连,116024;沈阳工业大学,信息科学与工程学院,辽宁,沈阳,110023 2. 大连理工大学,电子与信息工程学院,辽宁,大连,116024 3. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
| 基金项目： | 中国科学院资助项目;传感技术联合开放研究实验室基金 |
| 摘 要： | 介绍了微机电系统（MEMS）中存在的黏附问题，对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析．采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石（DLC）膜，通过扫描电子显微镜（SEM）表征未发生黏附的悬臂梁最长长度．发现村底上有DLC膜时，未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145μm；而无DLC膜时，平均不到80μm．利用原子力显微镜（AFM）测得DLC膜表面的黏附力在7nN左右，而硅衬底表面的黏附力大约为20nN．实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力，减轻了多晶硅悬臂梁的黏附． |
| 关 键 词： | 类金刚石膜 微机电系统 黏附 悬臂梁 |
| 文章编号： | 1000-8608（2006）03-0442-04 |
| 收稿时间： | 2005-04-11 |
| 修稿时间： | 2005-04-112006-03-17 |
Research on application of DLC films to solving MEMS stick |
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| LI Xin,TANG Zhen-an,XU Jun,BAO Hai-fei.Research on application of DLC films to solving MEMS stick[J].Journal of Dalian University of Technology,2006,46(3):442-445. | |
| Authors: | LI Xin TANG Zhen-an XU Jun BAO Hai-fei |
| Institution: | 1. School of Electr. and Inf. Eng., Dalian Univo of Technolo, Dalian 116024, China; 2. School of Inf. Sci. and Eng., Shenyang Univ. of Technol., Shenyang 110023, China; 3. Shanghai Inst. of Microsyst. and Inf. Technol., Chin. Acad. of Sci., Shanghai 200050, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | diamond-like carbon film MEMS stick cantilever beam |
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