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| 复合结构静电感应晶体管的终端造型 | |
| 引用本文： | 朱筠,李思渊.复合结构静电感应晶体管的终端造型[J].科技信息,2011(25):I0011-I0012. |
| 作者姓名： | 朱筠 李思渊 |
| 作者单位： | 西安邮电学院电子工程学院;兰州大学微电子研究所; |
| 基金项目： | 甘肃省攻关项目(GS012.A52-064) |
| 摘 要： | 为了克服几何形状(曲率效应)造成的边角电场对平面扩散结击穿性能的劣化效应,对应于静电感应器件的复合结构,采用限场环与切断环作为终端造型,使结边界处的耗尽层宽度反窄化效应而展宽,以分散电力线并降低表面电场。 |
| 关 键 词： | 复合结构SIT 限场环 切断环 |
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