| 磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析 |
| |
| 引用本文： | 刘超前,李伟力,费维栋. 磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析[J]. 南京大学学报(自然科学版), 2009, 45(2) |
| |
| 作者姓名： | 刘超前 李伟力 费维栋 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨 150001 |
| |
| 摘 要： | 本文利用X射线衍射技术表征了磁控溅射Pt薄膜的纤维织构.并给出了一种表征薄膜纤维织构的一般性方法.研究结果表明,利用X射线衍射的特殊扫描方式可以实现薄膜纤维织构的定量和定性表征.对于制备态Pt薄膜而言,织构漫散 400℃退火后,薄膜{111}型纤维织构变强,表明Pt薄膜的强{111}织构系退火时薄膜的再结晶所致.
|
| 关 键 词： | 薄膜 Pt 织构 X射线衍射 |
X-ray diffraction analysis of Pt film prepared by magnetron sputtering method |
| |
| Liu Chao-Qian,Li Wei-Li,Fei Wei-Dong. X-ray diffraction analysis of Pt film prepared by magnetron sputtering method[J]. Journal of Nanjing University: Nat Sci Ed, 2009, 45(2) |
| |
| Authors: | Liu Chao-Qian Li Wei-Li Fei Wei-Dong |
| |
| Affiliation: | School of Materials Science and Engineering;Harbin Institute of Technology;Harbin;150001;China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | film Pt texture X-ray diffraction |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
|
