| Al／BaTiO3／Si结构的湿敏特性 |
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| 引用本文： | 吴英才 李观启. Al／BaTiO3／Si结构的湿敏特性[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 1994, 22(3): 82-87 |
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| 作者姓名： | 吴英才 李观启 |
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| 作者单位： | 华南理工大学应用物理系 |
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| 摘 要： | 用氩离子束镀膜法制备ＢａＴｉＯ_３／Ｓｉ系统，并在４００－９００℃的温度下用氮气保护进行退火，然后制成Ａｌ／ＢａＴｉＯ３／Ｓｉ的ＭＩＳ结构。用俄歇电子能谱分析ＢａＴｉＯ３膜的化学组分．研究电容－相对湿度和电流－相对湿度特性，以及固定电荷密度对湿敏特性的影响．结果表明，当相对湿度从１２％变化到９２％时，电容量增加４８％到５０％；在３Ｖ偏压下，电流量增加４２０％到４４０％；随着固定电荷密度的减小，吸附响应时间增加，电流变化率减小．
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| 关 键 词： | 钛酸钡 薄膜 湿敏特性 湿度传感器 |
THE HUMIDITY SENSITIVE CHARACTERISTICS OF AI/BaTiO_3/Si STRUCTURE |
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| Wu Yingcai, Li Guanqi, Zeng Shaohong, Huang Meiqian. THE HUMIDITY SENSITIVE CHARACTERISTICS OF AI/BaTiO_3/Si STRUCTURE[J]. Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition), 1994, 22(3): 82-87 |
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| Authors: | Wu Yingcai Li Guanqi Zeng Shaohong Huang Meiqian |
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| Affiliation: | Dept. of Appl. Phys. South China Univ. of Tech. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | s: relative humidity barium titanate chemisorption physisorption |
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