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交流法短沟道MOS器件模型参数计算机自动提取
引用本文:赖宗声,毛敏.交流法短沟道MOS器件模型参数计算机自动提取[J].华东师范大学学报(自然科学版),1990(1):61-68.
作者姓名:赖宗声  毛敏
作者单位:华东师范大学电子科学系 (赖宗声,毛敏),华东师范大学电子科学系(王敏靖)
摘    要:本文介绍了一种新型的交流法短沟道MOS器件参数计算机自动提取技术.它能快速而又精确地提取短沟道MOS器件的源漏串联电阻R_T、表面迁移率μ_0、迁移率退化因子θ、阈值电压V_T、平均表面态密度D_(it)等SPICE模拟程序中的模型参数.对LDD、硅栅CMOS等短沟道MOS器件测试结果表明它还具有抗干扰能力强之特点,是一种LSI-MOS电路制造的有效的CAM手段.

关 键 词:MOS器件  短沟道  模型参数  提取

The Computer Automatic Extraction of the Short-Channel MOSFET Modeling Parameters By Using AC Measurement Method
LAI ZONGSHENG, MAO MIN, WANG MINQING.The Computer Automatic Extraction of the Short-Channel MOSFET Modeling Parameters By Using AC Measurement Method[J].Journal of East China Normal University(Natural Science),1990(1):61-68.
Authors:LAI ZONGSHENG  MAO MIN  WANG MINQING
Institution:Department of Electronic Science and Technology
Abstract:
Keywords:short-channel MOS device modeling parameters computer extraction
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