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| 软X射线光学多层膜 | |
| 作者姓名： | 白海力 姜恩永 吴萍 娄志东 |
| 作者单位： | 天津大学理学院应用物理学系!天津300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金,国家教委博士点基金,天津市2 1世纪青年科学基金,天津大学理科青年基金资助项目 |
| 摘 要： | 评述了软Ｘ射线光学多层膜的结构设计,结构评价以及结构稳定性的研究现状,并讨论了目前存在的问题以及可能的解决办法。 |
| 关 键 词： | 软X射线光学 多层膜 结构设计 结构稳定性 LB膜 |
| 收稿时间： | 1998-09-30 |
| 修稿时间： | 1999-01-13 |
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