脉冲激光沉积KTN薄膜动力学过程模拟

根据流体力学理论，对脉冲激光沉积ＫＴＮ薄膜的动力学过程地模拟，讨论了激光沉积的ＫＴＮ薄膜厚度分布随基片位置的变化规律，结果表明，等离子体在膨胀过程中会形成垂直靶表面的等离子体羽辉，当激光束的位置和方向不变时，ＫＴＮ薄膜的厚度分布不均匀，呈现类高斯分布形状，薄膜的最大厚度与基片和靶材的距离成负二次方关系。