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1.
微细电火花加工关键技术研究   总被引:28,自引:0,他引:28  
围绕微细电火花加工的实现,对微细电火花加工的关键技术进行了研究。开发出由蠕动式微进给机构、微小能量放电电源、微小电极线放电磨削机构、精密旋转主轴头、加工状态检测与控制系统等构成的微细电火花加工装置。探讨了微细电火花加工微小轴、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成型、以及半导体硅材料等的工艺方法。实验加工出的微小轴和孔的最小直径分别小于25μm和50μm,最大深宽比分别超过20和10。  相似文献
2.
压电智能梁的状态相关LQR振动控制   总被引:18,自引:1,他引:17  
为改善采用压电材料的智能梁的振动控制,提出了一个状态相关LQR(Linear Quadratic Regulator)控制方法,在离散时刻上依据状态选取主控模态,调整目标函数并更新增益矩阵,从而使主控模态具有较大的阻尼,数值计算了一悬臂梁和简支梁在不同初始条件下的响应,结果表明,该方法能够有效改善控制效果。  相似文献
3.
柔性铰链微夹持机构的研究   总被引:4,自引:1,他引:3  
在研究柔性铰链的基础上,介绍了平面柔性铰链微夹持机构的设计与制作,并对此进行了张合实验.利用解析法和实验,分别得出了平面柔性铰链夹持机构的放大倍数和总张合量.通过调整杠杆机构各个臂长之间的关系,就可以改变微夹持机构的放大倍数和输出的大小,夹持部分的张和量是输入位移的96倍。研究结果表明,平面柔性铰链微夹持机构的输入和输出位移具有良好的线性度,放大倍数可以根据需要进行调整.采用压电陶瓷作为动力组件,通过对压电陶瓷施加电压的调节来精确控制其张合量的大小,可用于对微型零件的操作,因此具有精度高、易控制、性能稳定的优点,可集成于微型装配系统中,并具有广阔的应用前景.  相似文献
4.
微型机械研究的现状及展望   总被引:2,自引:0,他引:2  
微型机械是80年代后期崛起的新兴热点技术。本文从微型机械的历史背景入手阐述了目前微型机械的定义、主要组成部分、主要的工艺方法、国外的研究状况及应用前景,最后介绍微型机械在我国的发展状况。  相似文献
5.
未来的微型机器人   总被引:1,自引:0,他引:1  
李忠东 《今日科技》2001,(11):42-42
大有用武之地 微型机械的基本定义包括3个方面:1至10毫米为小型机械,10微米至1毫米为微型机械,10纳米至10微米为超微型机械。它的体积可以缩小到微米级甚至亚微米级,重量轻至纳克,加工精度为微米级或纳米级。微型机械之所以倍受青睐,在于它体积小,受热膨胀、噪声和挠曲等因素的影响极小,性能无多大变化,能够维持稳定的工作。 由微型机械组装的微型机器人大有用武之地,可以从事大型机器人无法做的收集信息和智能操作等各项工作。 在工业上,微型机器人能够用来加工三维密集连接的硅片结构,制造下一代更微小的超微型机…  相似文献
6.
特种压阻式加速度传感器的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.  相似文献
7.
该文分析了微型机电系统中产生的一系列特殊效应,介绍了微机电系统中新的设计理论和设计方法,以期建立微机械学理论体系。  相似文献
8.
微型机械是一个全新的领域 ,从微型人造小昆虫、微型飞行器到微电子机械系统 ,无一不展现出奇特的功能 .微型机械的前景十分诱人 ,但也带来了新的问题 ,带来了新的挑战  相似文献
9.
10.
论述了对微型齿轮,微型涡轮和微型悬臂梁等微型机械零件的研制,介绍了通过计算机辅助设计,利用IC的微细加工技术,采用射频溅射和光刻技术制造微型机械零件的方法。  相似文献
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