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1
1.
溶胶-凝胶法制备的BaTiO3薄膜表面态
陈海涛
胡界博
娄辉
蔡洪涛
丁玲红
张伟风
《应用科学学报》
2006,24(4):429-432
用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在SiO
2
/Si(111)基片上生长了钙钛矿结构BaTiO
3
薄膜.用X射线光电子能谱技术(XPS)和角分辨X射线光电子能谱技术(
ARXPS
)研究了薄膜的表面化学态以及最顶层的原子种类和分布状况,结果显示在热处理过程中薄膜表面形成一层富含BaO的非计量钛氧化物层,并且钡-钛原子浓度比随着探测深度的增大而逐渐减小.
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