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通过把传统光学方法与现代数字化图像技术相结合,运用先进的数字化图像处理手段和Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图像的计算,并应用自己在理论研究上的突破,从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定。利用本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了λ/100,灵敏度为λ/1000。 相似文献
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