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1.
线列式分室连续PECVD系统制备弱光非晶硅太阳电池的研究
王庆章
赵庚申
许盛之
王宗畔
耿新华
《南开大学学报(自然科学版)》
2007,40(6):82-85,90
从非晶硅太阳电池在弱光条件下工作机理的特点出发,研究了不同工艺条件对电池特性参数的影响,介绍了自主研制的先进的线列式分室连续PECVD系统及工艺技术,分析了在该设备上制造出的高质量弱光非晶硅太阳电池的性能.实验结果表明,该工艺技术能够有效提高太阳电池性能质量.
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