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用超高真空磁控溅射设备在不同溅射压强及衬底温度的工艺条件下制备了一系列Co/Si多层膜.X射线小角衍射证实所研制的多层膜具有周期调制结构.分别采用不同的理论方法计算了多层膜的周期和折射修正项.表明修正项不再仅对折射效应修正,而应理解为更广义的修正项.并应用广义修正总多层膜厚度Bragg公式确定出了主峰之间次峰的级数.  相似文献   
3.
现代图书馆网络安全管理问题   总被引:5,自引:0,他引:5  
分析了现代图书馆网络化进程中影响图书馆网络安全的几个因素,如网络硬件的安全、网络操作系统和应用系统的安全、数据的安全等,并提出了相应的安全策略和解决方案。  相似文献   
4.
报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力,通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构(硅摆)的设计、制作与封装工艺,用仿真器测试了旋转体的角速率。模拟试验和性能测试表明,该陀螺结构原理正确,可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度,以及旋转体自身的角速度。  相似文献   
5.
综述了制备SiC材料的工艺及进展 ,介绍了多种SiC材料的制备方法 ,评述了各种制备工艺的优缺点 .  相似文献   
6.
射频溅射中氩气压强对Ge/Si多层膜的影响   总被引:7,自引:0,他引:7  
用射频磁控溅射制备了一系列Ge/Si多层膜,采用X射线小角衍射测量了不同溅射压强下制备的样品,计算出了多层膜的周期.通过计算机模拟实验曲线确定出了Ge和Si的分层厚度,计算出了不同压强下的溅射速率.实验和计算机模拟都表明了在衬底温度为590℃、溅射功率为150W的溅射条件下1.5~2.5Pa氩气压强时制备出的样品周期性、均匀性和平整性都比其它压强下制备的样品好.  相似文献   
7.
通过对复合图书馆建筑特征、实用价值的探讨,指出复合图书馆的实体建筑要突破个体的、独立的馆舍限制,在建筑设计、馆舍内外布局上,具有一定的前瞻性和适应性。  相似文献   
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