排序方式： 共有2条查询结果，搜索用时 0 毫秒
1
1.
提出了一种利用聚焦离子束(FIB)技术的铣削功能制备微细切削刀具的方法,通过设置恰当的离子束参数及精确控制刀具的不同刀面相对离子束的位置,可以获得具有高精度特征尺寸、锋锐刃口且复杂形状的微刀具.被加工刀具的典型特征尺寸为5～50,μm,可加工各种不同截面形状的微刀具.对硬质合金材料的毛坯进行FIB铣削,获得了宽度为7.65,μm、刃口半径小于30,nm的矩形微刀具.通过在超精密车床上进行加工试验,结果表明,FIB铣削的微刀具具有很好的加工性能. 相似文献
2.
基于聚焦离子束铣削的复杂微纳结构制备 总被引：5，自引：0，他引：5
聚焦离子束铣削是一种灵活且高精度的微加工方法，探索通过聚焦离子来铣削进行复杂微纳米结构的加工过程．通过聚焦离子束铣削加工，利用灰度值精确控制离子柬加工时间，实现闪耀光栅以及正弦结构等复杂微纳结构的加工过程同时，利用聚焦离子束对原子力显微镜纳米管探针的长度进行高精度调控，其长度控制精度可以小于50nm．聚焦离子柬铣削技术为制备在各种科学工程领域应用的多种复杂微结构提供了有效途径． 相似文献
1