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微机械音叉陀螺仪是一种用于测量角速度的微型惯性器件,在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。本文论述其结构组成,分析了其工作机理,探讨了其检测电极的最佳间距,并给出了提高其灵敏度的途径。 相似文献
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硅微振动轮式陀螺仪的研究 总被引：4，自引：0，他引：4
论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺。 相似文献
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科学方法教育的目的在于发展学生分析和解决问题的能力。物理学科实施素质教育的目标是培养具有较高科学素养的人才,它主要体现在培养多方面的能力上,在诸多能力的培养中,创造能力是核心,而创造能力培养的关键是科学方法教育。 1 物理学科方法教育的内容物理学是一门自然科学,是研究自然界的物质形态、结构、性质和运动规律的科学,是关于自然知识的理论体系。物理学科科学方法内容是丰富的,按照方法的不同层次和普遍性程度的高低来划分,它包括相互联系又相互区别的三个层次。1.1 科学方法的第一层次称为具体方法,如观察法、使用仪器法… 相似文献
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介绍了微机械振动陀螺仪的结构特点及工作机理,建立了其力学模型,并在此基础上,对原理误差进行了定性的分析,得出了影响其精度的主要干扰源,为误差的补偿指明了方向。 相似文献
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