RF磁控溅射微波介质陶瓷薄膜的影响因素及其应用

RF磁控溅射是目前应用最广泛的一种溅射沉积方法.由于陶瓷溅射的现象相当复杂,目前尚无完整的溅射理论可以用来分析溅射现象,所以通常通过实验来确定溅射过程中的影响因素.综述了RF磁控溅射陶瓷薄膜过程中的影响因素,阐述了微波介质陶瓷薄膜的应用前景,并指出了今后的发展方向.     

纳米氧化锌的制备技术及其应用前景

综述了纳米氧化锌的主要制备方法,结构表征和材料特性.介绍了液相和气相合成法等不同制备方法的反应特征、产物形貌及其性能.分析了水热法、模板法、溶胶凝胶法和化学气相氧化法的生长机理.讨论了纳米氧化锌的应用前景,并对纳米氧化锌的后续研究重点提出了一些建议.