微桥量热计测量铝薄膜热容

用表面硅微加工工艺研制了一种用于薄膜热容测量的新型微桥量热计,热性能测试与分析表明,微桥量热计温度响应快,温度均匀性较好,采用脉冲量热法,通过测量量热计的热功耗、瞬态温度以及稳态热功耗,可计算量热计和样品薄膜的热容．在真空中300～420K测量了40～1150nm厚的Al薄膜热容,并测量了样品的贡量,获得了样品的比热容,1150nm厚的Al薄膜比热容与Al体材料比热容的文献值吻合较好．随着厚度的减小,Al薄膜的比热容增强,这种现象在高温时更为显著．     

电阻应变式称重传感器在实验教学中的应用

实践证明,实验教学效果的好坏主要是由实验内容决定的。学生普遍对日常生活中比较熟悉的具体应用感兴趣,将具体的应用实例引入到教学实践能吸引学生的注意力,激发出学生学习的兴趣和热情,收到意想不到的实验教学效果。通过介绍电阻应变式低量程厨房秤专用称重传感器的内部电路结构、主要技术参数、实用电路设计等,阐述了怎样将电阻应变式称重传感器应用于实验教学的思想方法和实践操作过程。提炼的实验教学思想和方法,对实验教学改革具有一定的参考价值。     

全定制集成电路设计实践教学研究

全定制集成电路设计实践教学是实现微电子专业精英人才培养的重要实践环节之一。为了在有限的教学时间内使大多数学生不但能够熟练掌握集成电路设计EDA软件工具的运用,并且激发学生的学习兴趣和培养创造性思维能力,教师在基础类实践、分析纠错类实践、综合设计类实践三大环节中采用了多种教学方法来实现不同阶段的教学目的,为增强学生自信心和发挥主观能动性创造了良好的教学环境。     

微尺度薄膜热容测试技术

微纳米薄膜材料广泛应用于微纳器件中,因此微尺度薄膜热容测试技术对于微纳器件热设计十分重要。本文介绍了一种新型的用于薄膜热容测试的自对准双层悬空膜片结构——双层悬臂梁量热计,它主要应用于薄膜材料热容测量和微结构中的近场热辐射研究。同时介绍了双层悬臂梁量热计用于薄膜热容测试的几种测试方法,包括差式扫描量热法、热延迟时间法、脉冲量热法等。