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该文译斐索干涉仪中的多光束干涉效应作了研究和分析，并应用移相干涉术的三步法和四步法，分析和比较了多光束干涉对干涉仪测试精度的影响。结果表明，即使２个相干表面未镀膜或反射率很低时，这种影响仍是不可忽视的，但只要选择合适的移相算法，便可有效地加以抑制。 相似文献
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