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冠醚在晶体管硅表面清洗中的应用 总被引：1，自引：1，他引：0
利用冠醚对金属离子所具有的选择性络合作用,用于晶体管生产中硅片表面的清洗,取得了初步结果。经冠醚的甲苯溶液处理过的晶体管,反向击穿电压大大提高,这有助于硅晶体管产品的质量和产量的提高,在试用18-冠-6,2苯并-18-冠-6,二环已基-18-冠6和苯并-15-冠-5四种冠醚中,以0.5％18-冠-6的甲苯溶液清洗,效果最好。 相似文献
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