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1.
衬底温度对纳米硅薄膜结构性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
在等离子体化学气相沉积系统中采用高氢稀释硅烷蚀刻法制备了纳米硅薄膜。系统地研究了衬底温度对nc-Si:H薄膜的结构性能的影响。结构表明随着衬底温度从240℃升高到320℃,薄膜的晶态率从24%增大为65%,平均晶粒尺寸从6nm增大为10nm。当衬底温度≤200℃时,生成薄膜为a-Si:H薄膜。文中还对纳米硅薄膜的晶化机制进行了讨论。  相似文献   
2.
韩伟强 《科学通报》1996,41(16):1520-1522
纳米固体材料由于具有高浓度界面的结构特性以及相伴随着的新颖物性,1984年以后在材料各个领域得以迅速发展。近年来,随着纳米材料在许多领域的兴起,纳米硅薄膜也受到人们越来越多的关注。纳米硅薄膜是由大量的纳米尺寸晶粒及晶粒间界面构成。由于晶粒具有无规则分布的特征,使得界面具有不同的结构和键合特征。界面对纳米硅薄膜的结构和物性具有极其重要的影响。  相似文献   
3.
为了研究进气门升程曲线在附加升程持续角与附加升程高度的耦合作用下对柴油机进气状态参数的影响。以1台DK4A轻型柴油机为基础搭建了热力学模型,以发动机转速n=2 800r/min,50%负荷(扭矩110N·m)工况下获得的试验数据为边界条件,在模型中导入呈不同升程趋势的进气门升程曲线(不同附加升程持续角和附加升程高度),利用数值模拟与试验相结合的方法,获得不同的进气状态参数(进气流量、缸内压缩上止点温度、缸内压缩上止点压力),系统分析附加升程持续角与附加升程高度的耦合作用对进气状态参数的影响,并探讨两者对进气状态参数影响权重的变化规律。研究结果表明:在附加升程高度与附加升程持续角的耦合作用对进气状态参数的影响关系中,单位附加升程持续角的影响权重大于单位附加升程高度的影响权重;在k倍单位附加升程高度对应的进气状态参数变化率与单位附加升程持续角对应的进气状态参数变化率等量影响权重关系中,当进气状态参数变化率为定值时,随着k值增加,等量影响权重关系曲线往附加升程高度与附加升程持续角均增大的方向移动,与此同时,在附加升程高度和附加升程持续角越大的区域,k倍单位附加升程高度对进气状态参数变化率的影响权重大于单位附加升程持续角的影响权重。  相似文献   
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