射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究

在已有的调谐基片自偏压研究的基础上,进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响;研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响,发现了在电阻值区自偏压自振荡现象;在不同的放电参数下,采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布.并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释.     

射频Langmuir探针制作过程中的干扰问题及解决办法

射频Langmuir探针是诊断射频感应耦合等离子体参数的重要工具．通过给探针添加LC调谐电路．减小了探针尖鞘层射频压降的干扰，得到可以由简单理论处理的I-V特性曲线；通过控制扫描电压大小对探针尖进行加热或溅射，解决了探针尖污染和测量结果不能重复的问题，找到恰当的测量扫描电压．     

创新推进近代物理综合性实验项目建设

结合近代物理实验课程的教学实践,总结了建设综合性实验项目的实验模式,包括综合性实验项目性质的界定、整合优化实验项目和实验内容及建立全程的多元化考核办法等重要方面。实践表明,建设综合性实验项目,能够培养学生的综合分析能力、实验动手能力、数据处理以及查阅资料的能力。     

附加电极半径对空心圆管端点附近离子注入剂量的影响

在带有共轴零电位附加电极的空心圆管等离子体源离子注入过程中,附加电极半径的大小直接影响到空心圆管端点内表面、端点表面和外表面的离子注入剂量,进而影响空心圆管表面的结构和性质,对空心圆管的不同部位这种影响是不同的.利用无碰撞两维流体动力学模型,研究了有限上升时间的电压脉冲作用下,共轴放置附加零电位的半无限空心圆管端点附近等离子体源离子注入过程中,附加电极半径变化时,空心圆管端点附近离子注入剂量分布随时间的演化规律.计算机模拟结果显示了附加电极半径改变时,空心圆管内部、外部及端点表面处的离子注入剂量分布发生变化.