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为了进一步研究不同类型导轨在小行程微位移情况下,尤其在微纳米运动尺度下,运动特性对精密仪器精度的影响,并且考察导轨的低速爬行等性能对运动平稳性、准确性的影响.设计了一种精密导轨运动特性实验装置.该装置采用直线步进电机和通过滑轮上的细绳牵引滑块移动两种驱动方式,并设计了滑动导轨、滚动导轨和静压导轨三种导轨类型.这种设计形式为微纳米运动条件下,测试与分析实验结果、明确速度与摩擦力的关系、减小系统误差、提高仪器精度等提供了理论基础. 相似文献
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