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Al2O3或TiO2掺杂的ScSZ固体电解质纳米晶薄膜的制备及表征 总被引：2，自引：0，他引：2
利用溶胶-凝胶旋涂法,在单晶硅基片(100)上分别制得了厚度约为0.31μm的(Al2O3)0.10(Sc2O3)0.08(ZrO2)0.82和0.36μm的(Sc2O3)0.125(TiO2)0.175(ZrO2)0.70固体电解质纳米晶薄膜。烧结实验结果表明,两种薄膜均在650℃以上开始晶化,温度越高,晶化越完全,在800℃可完全晶化;所得纳米晶颗粒呈纯的萤石结构立方相;铝和钛掺杂的纳米晶颗粒的平均大小分别为47和51nm。铝掺杂的薄膜非常均匀致密,然而,钛掺杂的薄膜存在少量微气孔。 相似文献
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