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对共焦扫描显微镜(CSM)的光瞳函数进行调制可以进一步提高分辨率,但实现却颇难.而象面调制和瞳面调制效果完全相同,并且容易实现.本文通过理论分析,得出了相干成象时象面调制和瞳面调制之间存在付里叶变换的关系.我们建立了由光电倍增管数据采集装置、步进电机驱动机械扫描装置和光学系统三部分组成的CSM实验装置.为一维相干照明条件下的象面调制CSM设计加工了状如Ronchi光栅的位相型膜片.实验结果表明,分辨率几乎提高了一倍,和理论分析吻合得很好. 相似文献
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