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1.
硅上硅化钛相变和生长动力学研究
胡仁元
王忠烈
刘伊犁
谢葆珍
《北京师范大学学报(自然科学版)》
1986,(1)
用RBS及X线衍射研究了硅上钛薄膜退火时形成硅化物的相变和生长动力学。650℃退火形成TiSi_2相,TiSi_2层生长服从Kidon抛物线层生长规律。
相似文献
2.
在Fe/B溅射成膜中Ar离子的捕获
胡仁元
《自然科学进展》
1993,3(1):85-88
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