片状气体放电电子束强度与能量分布的实验研究

片状气体放电电子束强度与能量分布的实验研究罗宗南，崔一平，陈松生，杨正名（东南大学电子工程系．南京２１００１８）气体放电电子束强度高，能量大，在微电子、光电子、加工、材料科学、等离子化学以及表面处理等方面有着广泛的应用前景，加以成本低廉、操作方便，是...     

低气压气体放电电子束机理的探讨

本文在实验研究的基础上，对气体放电电子束的形成机理和物理模型提出了的见解，并以此为依据对电子束的能谱进行了模拟，实验结果与理论符合很好。