MEMS用低应力硅片的研制

通过对硅片加工过程中的高温退火、切割、研磨、化学腐蚀、抛光等工序工艺过程的研究,找出了影响MEMS用硅抛光片应力参数的关键工艺,表明通过调整关键工艺参数,能够有效地控制MEMS用硅抛光片的应力参数。     

猫泛白细胞减少症的初步诊断和防治

<正> 猫泛白细胞减少症又称猫瘟,它是由细小病毒引起的一种危害猫科动物最严重的传染性疾病。我厂四月中旬发生了家猫以腹泻、发热和呕吐、停食为主要临床特征的传染性疾病,前后共有47只成年猫发病。根据流行病学,临床症状,病理变化,血液学检查及送检结果初步诊断为猫泛白细胞减少症。现将情况简要报道如下: 一、流行情况。 1)流行过程四月十五日,1只一岁猫出现病症死亡。以后接连出现,并逐渐增多,至第九天,发病11只,死亡5只,达到最高峰,以后发     

晶片去蜡技术综述

随着晶片直径向大尺寸发展,有蜡抛光方式成为晶片抛光的一项主流技术,从而需要引入晶片去蜡技术。对晶片去蜡工艺中一些常用的技术,如有机溶液浸泡法、有机溶剂超声清洗法以及专用试剂超声清洗法进行了介绍,结合一些设备生产厂家的设备实例,对晶片去蜡技术的发展趋势作了简要论述。