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具有隔离结构的横向接触式体硅微机械继电器 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了一种横向接触式体硅微机械继电器。这种继电器采用硅/玻璃键合及深刻蚀(DRIE)工艺加工,并利用多晶硅填槽形成隔离结构。继电器采用静电激励,横向驱动。分析了继电器静电激励的阈值电压,介绍了一种在有限元仿真工具ANSYSTM下用降解模型(ROM)分析阈值电压的方法,并对仿真结果和实验结果进行了比较和讨论。 相似文献
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加速度系统的结点化模型仿真 总被引:2,自引:0,他引:2
利用在Zeni VDE平台下建立的梁、平板质量、集总质量、气隙、压膜阻尼和锚点等结点化基本单元模型,对一种电容式加速度计系统进行了一系列的仿真,仿真内容包括静态仿真,时域仿真和频域仿真等。仿真结果和商用仿真工具ANSYS的仿真结果以及试验数据保持良好的一致。 相似文献
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杨振川 《北京交通大学学报(自然科学版)》1986,(3)
本文通过例题说明在用“可能——满意度”的方法进行多目标决策时评价指标临界值的确定对评价结果有着重要的影响,并根据数学分析的原理提出了在保证评价结果具有可靠性的前提下确定临界值变化范围的一种方法。通过在具体问题中的应用,证明这种方法是行之有效的 相似文献
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