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1.
低腐蚀隧道密度压电石英晶体
韩建儒
周广勇
张树君
程振翔
陈焕矗
李昆
张宪昆
戚思柏
刘成万
《山东大学学报(理学版)》
2000,35(1)
小型化高频器件的发展 ,需要一些低隧道密度压电石英晶体 .本文分析了低隧道密度石英晶体的特点 ,用水热法生长了低隧道密度石英晶体 .报道了生长这种晶体的工艺条件 ,对产品的性能进行了测试 .讨论了工艺和技术条件对产品质量的影响 .
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