采用双等离子体制备非晶态碳膜的研究

采用直流金属磁过滤阴极真空弧(FCVA)制造出Ti和乙炔(C2H2)气体的双等离子体在单晶硅(100)上制备非晶态碳膜.重点研究了乙炔气体和过滤线圈电流对非晶态碳膜的结构、形貌和机械性能的影响.研究结果表明,薄膜中主要成分是TiC,并以(111)作为主晶向;随着过滤线圈电流的增大,薄膜的晶粒度越来越小;薄膜表面的粗糙度逐渐减小,变得更加平整;薄膜的应力减小,可以下降到2.5 GPa.薄膜的显微硬度和弹性模量随着C2H2体积流qV(C2H2)的增大而降低,硬度和弹性模量分别可以达到33.9 GPa和237.6 GPa.非晶态碳膜的摩擦因数在0.1～0.25之间,大大低于衬底材料单晶硅片的摩擦因数0.6.随着过滤线圈电流增大,摩擦因数减小.     

基于数据挖掘的集中监控设备典型缺陷预测方法

为改善传统方法对监控设备典型缺陷分析结果的不理想,提出了基于数据挖掘技术的集中监控设备缺陷预测方法。预测集中监控设备在未来时间内的相关监控数据,并将其与历史典型缺陷发生期间内的监控数据相似度进行比较,以量化指标的形式对集中监控设备的典型缺陷进行预测。实验结果表明,利用所提方法对实际发生的油温异常典型缺陷进行预测,计算出的相似度指标形成了一个峰值,而缺陷未发生时的相似度指标较低,证明本文方法能够较好地体现缺陷发生的可能性,整体应用性较高。