排序方式： 共有1条查询结果，搜索用时 15 毫秒
1
1.
张福荟 《沈阳大学学报：自然科学版》1994,(2)
目前,磁控浅射镀膜生产线正在国内逐步推广应用.本文是根据七年来在国产第一条镀膜生产线调试、生产工作中积累的实践经验,概述了影响真空度的因素和处理方法,同时介绍了机械泵、罗茨泵和扩散泵在使用时应该注意的事项. 相似文献
1