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孟卫民 《甘肃联合大学学报(自然科学版)》2002,16(1):36-39
用射频反应溅射法制备了含Ti量高低不同的两种Fe Ti N合金薄膜 .研究发现 ,沉积态低Ti含量的薄膜是α Fe的多晶体 ,晶粒尺寸约 2 0nm ,沉积态高Ti含量的薄膜则是非晶结构 ,经适当热处理后 ,纳米晶α Fe从中晶化生成 ,晶粒尺寸约 10nm .和低Ti含量Fe Ti N薄膜相比 ,高Ti含量Fe Ti N薄膜显现出良好的软磁特性 相似文献
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孟卫民 《甘肃教育学院学报(自然科学版)》2002,16(1):36-39
用射频反应溅射法制备了含Ti量高低不同的两种Fe-Ti-N合金薄膜,研究发现,沉积态低Ti含量的薄膜是α-Fe的多晶体,晶粒尺寸约20nm,沉积态高Ti含量的薄膜则是非晶结构,经适当热处理后,纳米晶α-Fe从中晶化生成,晶粒尺寸约10nm,和低Ti含量Fe-Ti-N薄膜相比,高Ti含量Fe-Ti-N薄膜显现出良好的软磁特性。 相似文献
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