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通过辅助数控数显XY工作台与视觉系统结合,用多坐标系统间的几何尺寸参数传递关系解决测量精度与测量范围成反比的矛盾,使测量系统在100mm×100mm的范围内,测量精度达到0.02mm(在X、Y方向上),实现了0.01%测量精度的要求. 相似文献
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