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阴极真空孤放电产生高密度等离子体的同时,也产生了尺寸可达微米量级的液滴,液滴对膜层的污染限制了它的应用。为解决这个问题,可采用轴对称磁场约束阴极斑,磁过滤器过滤等离子体出束中的液滴。结果表明液滴在磁过滤器出口处已基本上被过滤掉了,该处离子束流达到120mA。 相似文献
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在前几年的工作中,我们对通常的高频源进行了改进,研制了一个高频型重离子源.它可以引出多种元素的离子束,但是在产生挥发温度高且无稳定化合物的元素的离子束时遇到了困难. 相似文献
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测量束流发射度的方法很多,我们主要参照单缝移动、探针扫描、在函数仪上画相图和电偏转在示波器上连续显示相图的方法,设计了一台机械移动和电偏转相结合的发射度测量仪. 相似文献
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