多工序过程自相关数据的统计监测

结合状态空间模型和统计过程控制方法,建立了多工序生产过程中的自相关数据控制图,给出了平均运行长度的计算公式,并采用Matlab软件模拟实际生产过程所产生的自相关数据.同时,通过生产实例,演示了此方法的应用步骤.结果表明,所建立的自相关数据控制图在受控状态下的报警率很低,而在失控状态下的报警率较高.     

基于MEMS集成加热器的温控系统研究

采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7.35 mm²K/mW, 且功耗低。加热器面积为6 mm×6 mm, 具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy-PID温度控制算法, 温度稳态误差小于0.1°C, 并且约10秒即达到稳态, 响应速度快。使用该系统对MEMS压力计进行环境温控, 可明显抑制器件的温度漂移。