用于真空测量的电容式微型传感器

文章介绍了一种利用MEMS技术制作加工的电容式微型真空传感器。该传感器采用p＋＋硅自停止腐蚀技术和硅-玻璃键合技术制作，形成了硅-玻璃-硅的三明治结构，使得该传感器结构简单、灵敏度高。传感器输出的电压信号经过信号处理电路进行放大、处理，实验数据表明，传感器的电容值与真空度成线性关系，满足测量的要求。