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1
1.
一种用于GaAs选择腐蚀的新方法
陆凤贞
丁永庆
彭瑞伍
《应用科学学报》
1983,1(3):243-248
本文采用柠檬酸-H
2
O
2
-H
2
O体系的电化学腐蚀法,对高阻GaAs衬底材料的选择腐蚀进行了研究.考察了电解液组分、腐蚀时间、电流密度对腐蚀速率的影响,井用扫描电镜法对腐蚀后的表面进行了观察.研究结果表明,该法能获得具有底部平坦表面平正的窗孔.通过简单的法拉第分析可以认为,当用电化学腐蚀时,通电的作用能使表面平正,但GaAs的溶解可能主要靠化学反应.
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