排序方式： 共有2条查询结果，搜索用时 0 毫秒
1
1.
由于大直径晶圆的加工具有严格的逗留时间约束和时间波动, 使得组合设备的调度及其可行性的验证存在很大的困难, 而仿真是一个有效的方法. 如果组合设备的调度存在可行性, 那么, 通过仿真能够找到系统的可行调度. 利用eM-Plant建立了虚拟的单臂组合设备, 该系统是可重配置的. 不同类型的晶圆加工具有不同的晶圆流模式和加工时间, 该虚拟组合设备能够模拟不同的晶圆加工, 而参数化的虚拟组合设备实现了可重用性. 为了实现可视化, 建立了三维模型的虚拟组合设备. 对于操作组合设备的工程人员来说, 该系统是直观和有效的. 最后,通过例子验证了虚拟组合设备是可行的. 相似文献
2.
通过模拟微型6脚机器昆虫的动态行走动画,可以将所设计的微型6脚机器昆虫的结构细节表现无遗．该文介绍了使用3D Studio MAX作为设计绘图工具,面向对象进行参数设计,实现所设计的微型6脚机器昆虫的虚拟现实的动态行走过程． 相似文献
1