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为了解决系统鲁棒性和控制精度之间的矛盾,在分析纳米级驱动部件物理特性和双环控制特性的基础上,建立具有大进给力的纳米级驱动部件数学模型,并提出基于主控制环和从控制环控制强度可优化的改进型双环控制策略.最后,通过计算机仿真和试验证实:纳米级驱动部件应用本文提出的改进型双环控制策略,在5000N载荷下控制精度达到10nm.  相似文献   
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