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一种弱位相差新的检测法——三缝全息干涉装置   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文介绍一种检测光学平面度和薄膜厚度的新方法。采用单缝作等间距位移,三次曝光分别记录有位相调制(F_0缝)和无位相调制(F_1和F_2缝)的三缝频谱全息图,以细光束照明全息图的夫琅贺夫衍射谱第一级序,可重现三缝干涉图。此装置简单,分辨率达到1/400波长(λ/400)量级。  相似文献   
2.
本文重点讨论了基于Windows环境的自动测试系统GUI(图形用户接口)的开发应用技术。该系统支持软件是在MS Windows 3.0基础上,利用MS Windows SDK软件、Borland C~(++) 2.0软件包以及OOP技术开发的。它为改善自动测试系统性能和用户界面提供了非常好的软件支撑环境。  相似文献   
3.
本实验装置有光学元件、全息图、位移机构和旋转机构等误差,经过慎重选择光路之后,系统只有位移和旋转的误差,这些误差约在λ/540——λ/900量级。  相似文献   
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