等离子体刻蚀中边缘离子轨迹的控制与优化

由于常规等离子体刻蚀系统在晶圆边缘处的阻抗与晶圆中心处的阻抗不一致, 使离子在晶圆边缘处的运动轨迹发生偏移, 很难满足越来越高的刻蚀工艺均匀性及深宽比的要求。本文提出一种通过调整晶圆边缘阻抗进行边缘离子运动方向优化的方法, 可以连续实时地调整边缘离子的运动轨迹, 实现对边缘离子运动方向的控制。研究结果表明, 离子的运动方向可以被优化为垂直于晶圆表面, 从而能获得良好的刻蚀速率均匀性及垂直的刻蚀形貌。     

宇航固态存储器可靠性设计

宇航固态存储器用于存储卫星平台遥测数据和遥感载荷数据,其可靠性关系到航天器飞行任务的成败和完成质量。采用了可靠性分级设计思想,提出了一种高可靠的宇航固态存储器设计,运用了冗余、故障检测和隔离、纠错编码等技术,将固态存储器8年寿命末期的可靠度提高到了0.996 2,满足了宇航应用的要求。     

32路可编程MFC/DTMF信号收发器的设计与实现

采用单片DSP实现 32路时隙MFC/DTMF的收发系统 ,系统以插卡的形式与主控板相连 ,可应用于中小型CTI交换机中 ,测试结果符合《邮电部电话交换设备总技术规范书》规定的各项技术指标 ,和同类系统相比 ,本系统具有体积小、处理密度高、性能价格比高、接口方便的优点 .     

用flash制作交互式远程教育软件

交互式远程教育已是当前国际上流行的教育手段，但是由于它对计算机的硬件和软件都有较苛刻的要求，因此无法普及，无法发挥所有教师的作用．本文介绍了一种既简单又实用的交互式教育软件的编制方法，只需要在个人主页上就可以实现交互式教学．     

FRAM铁电存储器的应用

介绍了铁电存储器的特点,详细阐述了在51系统中应用铁电存储器的原理及接口技术,给出了应用实例.     

Cable Modem宽带接入系统设计

本文介绍了HFC宽带接入系统Cable Modem的软、硬件设计方案,本系统具有速率高、工作稳定可 靠、不占用电话线即可永久在线等特点。     

单片机系统的改造

计算机技术的发展日新月异，单片机系统的应用也随之飞速发展．而在实际应用当中，人们对单片机的重复投入往往会造成一种浪费．本文通过对单片机系统的几种改造方法的介绍，希望能帮助用户节约投资成本．     

BIOS及其升级

BIOS为计算机提供最低级的、最直接的硬件控制。通过深入认识和了解BIOS,可以对旧的BISO进行升级,使计算机处于最佳的工作状态,提高计算机的性能。     

农户家庭自动供水控制器设计

由CMOS数字电路组成的农户家庭节水自动控制器,结构简单,动作可靠,适用于农户家庭经及城市高楼集中供水的自动控制,在保证正常供水的前提下,节水节电.     

关于NAND闪存损耗均衡算法的优化

为了改善NAND闪存不耐擦写的特性,本文对传统的损耗均衡算法(HWL算法)进行优化,主要包括触发机制的优化和将现有的静态损耗均衡与动态损耗均衡策略相结合的优化策略.最后根据需求设计了评估损耗均衡算法效果的测试实验.结果表明:与当前算法相比,本优化算法展现了良好的磨损均衡效果,解决了NAND闪存不耐擦写的缺陷.