基于GPS的海底电缆二次定位测量系统

讨论了二次定位中声波定位方法和初至波定位方法误差的来源,指出由于多台GPS设备在不同的船上工作,众多设备统筹协调不好是造成二次定位存在较大系统误差的重要原因。在863课题支持下,开发了基于GPS的海上物探测量系统,该系统能统筹管理多台设备,实时完成导航、资料处理、绘图等多项功能,对提高生产效率,降低系统误差起到了重要作用。     

基于氧化铝薄膜的压电水听器的研制

提出了基于AlN压电薄膜结构的单电极水听器,将A1N的压电特性与MEMS微加工技术相结合。采用COMSOL对器件在20~100Hz低频范围内谐振特性进行分析和仿真,得出压电薄膜优化厚度0.8~1.0μm,振动薄膜直径100μm。给出了器件制备工艺流程,采用ICP精准刻蚀A1N薄膜提高成品率,并对实际样品进行高静水压等环境适应性测试。单个水听器阵列结构是40×40,实际尺寸为7×7mm,可以用来制备高性能的水听器集成系统。