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1.
2.
目前,SU-8胶层中过大的内应力,已经成为制约SU-8胶结构稳定性和实现更高深宽比的瓶颈问题之一.然而,已有的研究工作都集中在工艺参数的优化和掩模板的设计上,而且无法推广使用.本文旨在利用超声时效技术减小SU-8胶层中的内应力.讨论了利用超声时效技术减小SU-8胶层中内应力的机理.以改进的Stoney公式为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小SU-8胶层中内应力方面的作用.讨论了工作台振幅、输入功率和时效时间等重要参数对超声时效效果的影响,并且对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层中的内应力值.研究结果表明,选择合适的实验参数,超声时效技术可以有效地减小SU-8胶层中的内应力,该技术在非金属应力去除方面具有一定的实用价值. 相似文献
3.
4.
研究了脉冲频率、硫酸钴浓度对高频脉冲电镀Ni-Co复合镀层微观形貌与内应力的影响.高频脉冲电镀获得的沉积层表面比直流电镀致密、均匀、孔隙率低、内应力低.随脉冲频率的升高,Ni.C0镀层的内应力先减小后增加,并在80 kHz取得最小值.随硫酸钴浓度的增加,镀层的内应力先增大后减小,在30g/L取得最大值. 相似文献
5.
浅谈大体积混凝土基础施工技术 总被引:1,自引:0,他引:1
刘国锋 《科技情报开发与经济》2008,18(17):203-204
介绍了太钢1800m^3高炉基础施工方法,着重对大体积混凝土基础施工的难点进行了探讨,提出了避免大体积混凝土浇注后出现裂缝的有效措施。 相似文献
6.
以高强度、高耐腐蚀性Ni-W合金为研究对象,探讨了柠檬酸胺-HEDP体系中,各种电沉积工艺参数以及热处理条件对Ni-W合金薄膜应力的影响规律及其在微喷嘴模具上的应用.研究结果表明,在优化的工艺条件下,可获得应力为230 MPa、硬度高达988 HV、无裂纹的纳米晶Ni-W薄膜材料,为其在MEMS微器件、微模具制备上的应用提供了有效途径. 相似文献
7.
对广泛应用的开洞连续墙梁,运用有限元方法,通过对比,分析了居中开洞、偏开洞和无洞口情况的内力、应力分布以及变化规律,计算开洞口连续墙梁与托梁之间的相互作用力及其内部应力的分布情况,得到了与实验一致的结果,为开洞口墙梁的设计提供较精确的理论依据. 相似文献
8.
通过一组窄板小型焊接变形试验,证明了残余应力场对焊接构件的动态变形过程,因而也对焊件最终的残余变形有着不可忽视的影响。其机理为:焊接过程中力学熔池的运动干扰了焊件中原有残余应力场的平衡,引起焊件的附加变形。附加变形既改变了焊件高温区的压缩塑性变形,又改变了焊件冷却阶段的变形。 相似文献
9.
环氧胶粘涂层中温度应力的有限元分析 总被引:2,自引:0,他引:2
用有限元分析了板上堆覆胶层固化后内应力的分布,着重研究了板上堆覆胶层固化完成后环境温度发生变化时,平行于环氧树脂基体界面的胶层中不同深度处纵、横向应力的变化情况及胶层宽度对胶层应力分布的影响,还研究了同一深度胶层的应力分布。有限元分析结果与实测计算结果吻合:紧邻树脂基体-金属界面处的内应力最大。 相似文献
10.